文献

J-GLOBAL ID：200902152411256738   整理番号：96A0467117

非晶性けい素アロイの高度橋かけ重合体ネットワーク プラズマ及び光化学的プロセスに対する量子化学研究

Highly cross-linked polymer networks of amorphous silicon alloys: quantum chemical studies on plasma and photochemical processes.

著者 (2件)： SATO K (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  KOINUMA H (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Progress in Polymer Science  (Progress in Polymer Science)
巻： 21  号： 2  ページ： 255-297  発行年： 1996年 
JST資料番号： B0802A  ISSN： 0079-6700  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマCVD及び光CVD法による非晶質けい素及び炭化けい素...

シソーラス用語： 光CVD ,...
準シソーラス用語： 水素化けい素

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0467117&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0802A") }}

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  単独重合  (CG04020S)

タイトルに関連する用語 (9件)： 非晶性 ,  けい素 ,  アロイ ,  高度 ,  プラズマ ,  光化学 ,  プロセス ,  量子化学 ,  研究