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J-GLOBAL ID：200902152703318971   整理番号：02A0726774

異方性エッチングを用いた生体電位計測のための多層構造型マイクロプローブの開発

Development of Silicon Microprobe with Multilayer Circuitry for Multi-site Neural Recording using Anisotropic Etching.

著者 (5件)： 川島貴弘 (北大) ,  横井浩史 (北大 大学院工学研究科) ,  柴田隆行 (茨城大 工) ,  牧野英司 (弘前大 理工) ,  嘉数ゆき昇 (北大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68  号： 9  ページ： 1185-1189  発行年： 2002年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 生体内情報処理システムを同定する神経活動計測システムの構築に...

シソーラス用語： *生体計測 ,...
準シソーラス用語： 神経細胞

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分類 (2件)： 生体計測  (EL03020C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 水酸化テトラメチルアンモニウム

引用文献 (12件)：

• AKIN, T. A Micromachined Silicon Sieve Electrode for Nerve Regeneration Applications. IEEE Transactions on Biomedical Engineering. 1994, 41, 4, 305-313
• ENSELL, G. Silicon-Bases Microelectrodes for Neurophysiology Fabricated Using a Gold Metallization/Nitride Passivation System. Joumal of Microelectromechanical systems. 1996, 5, 2, 117-121
• GINGERICH, M. D. An Active Microelectrode Array for Multipoint Stimulation and Recording in the Central Nervous System. Proc. of the 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'99). 1999, 280-283
• HEIDUSCHKA, P. Implantable Bioelectronic Interfaces for Lost Nerve Functions. Progress in Neurobiology. 1998, 55, 433-461
• HOOGERWERF, A. C. A-Tree Dimensional Microelectrode Array for Chronic Neural Recording. IEEE Transactions on Biomedical Engineering. 1994, 41, 12, 1136-1146

タイトルに関連する用語 (6件)： 異方性エッチング ,  生体電位 ,  計測 ,  多層構造 ,  マイクロプローブ ,  開発