炭化けい素の物理的蒸気輸送における熱分解キャビティの形成

文献

J-GLOBAL ID：200902152778582976 整理番号：00A0371916

Formation of Thermal Decomposition Cavities in Physical Vapor Transport of Silicon Carbide.

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資料名：
巻： 29 号： 3 ページ： 347-352 発行年： 2000年03月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

炭化けい素(SiC)の物理的蒸気輸送成長中の熱分解キャビティ...

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固体デバイス材料

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