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J-GLOBAL ID:200902158184564992   整理番号:96A0131822

反応性イオンエッチングを用いて作製した2x2 InGaAsP/InPレーザ増幅ゲートスイッチアレイ

2×2 InGaAsP/InP laser amplifier gate switch arrays using reactive ion etching.
著者 (7件):
資料名:
巻: 32  号:ページ: 39-40  発行年: 1996年01月04日 
JST資料番号: A0887A  ISSN: 0013-5194  CODEN: ELLEAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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導波路集積化標記スイッチアレイをMOVPEとRIEにより作製...
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