文献
J-GLOBAL ID：200902159021220125
整理番号：99A1033892
弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究 第3報 最適シリコンスライダ形状について
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
1999
号：
秋季
ページ：
189
発行年：
1999年09月13日
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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