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J-GLOBAL ID：200902185315843156   整理番号：99A0421368

弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究 第2報 70MHzモータの試作

著者 (3件)： 高崎正也 (東大) ,  黒沢実 (東大) ,  樋口俊郎 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1999  号： 春季  ページ： 341  発行年： 1999年03月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (3件)：

• OSAKABE, N. SURFACE ACOUSTIC WAVE LINEAR MOTOR USING SILICON SLIDER. Proc.of IEEE Workshop on MEMS. 1998, 390-395
• 黒澤実. シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ. 信学技報. 1998, 55-62
• 高崎正也. 弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究 第2報 -40MHzモータの試作-. 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1998, 572

タイトルに関連する用語 (4件)： 弾性表面波 ,  リニアモータ ,  研究 ,  試作