真空マイクロエレクトロニクスの表面

SCHWOEBEL P R; BRODIE I

文献

J-GLOBAL ID：200902159224312335 整理番号：95A0824920

真空マイクロエレクトロニクスの表面

Surface-science aspects of vacuum microelectronics.

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資料名：
巻： 13 号： 4 ページ： 1391-1410 発行年： 1995年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

真空マイクロエレクトロニクスはフラットパネルディスプレイなど...

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表示機器 , 熱電子放出,電界放出 , 固体デバイス製造技術一般

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