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J-GLOBAL ID：200902159838498982   整理番号：98A0684788

SiC型を用いるAl基板上の直接ナノ印刷

Direct nano-printing on Al substrate using a SiC mold.

著者 (5件)： PANG S W (NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN) ,  TAMAMURA T (NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN) ,  NAKAO M (NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN) ,  OZAWA A (NTT Advanced Technol. Corp., Atsugi, JPN) ,  MASUDA H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16  号： 3  ページ： 1145-1149  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パターン形成した硬質SiC型を用いてAl基板にナノ構造を作製...

シソーラス用語： *アルミニウム ,...

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  印刷  (ZA05040A)

タイトルに関連する用語 (2件)： SiC ,  Al