摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 第1報  FFM一体形加工評価装置の試作

芦田極; 森田昇; 吉田嘉太郎

文献

J-GLOBAL ID：200902160871689589 整理番号：99A0046170

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究第1報 FFM一体形加工評価装置の試作

Study on Nano-machining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope. 1st Report. Trial Production of Nano-machining and Measurement System Modified a FFM.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0046170&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0046170&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 64 号： 626 ページ： 4072-4078 発行年： 1998年10月
JST資料番号： F0045B ISSN： 0387-5024 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ナノメータスケールの機械加工現象を正確に理解するためには,数...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0046170&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0045B") }}

固体デバイス製造技術一般

引用文献 (13件)：

, , , , , ,

前のページに戻る

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 第1報 FFM一体形加工評価装置の試作

摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究第1報 FFM一体形加工評価装置の試作