接触角測定とAuger電子分光で調べたふっ酸処理GaAs表面

文献

J-GLOBAL ID：200902161039982647 整理番号：96A1012233

Hydrofluoric-Treated GaAs Surfaces Analyzed by Contact Angle Measurement and Auger Electron Spectroscopy.

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巻： 35 号： 10 ページ： 5293-5296 発行年： 1996年10月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

HF処理したGaAs表面をGaAs表面とその上の水滴との接触...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (9件)：

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