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J-GLOBAL ID：200902161391598075   整理番号：00A0692886

プラズマ重合によるDLC薄膜の調製とその誘電特性

Preparation of DLC Thin Films by Plasma Polymerization and Their Dielectric Properties.

著者 (3件)： IRIYAMA Y (Yamanashi Univ., Kofu, JPN) ,  HASEGAWA Y (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  IHARA T (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 13  号： 1  ページ： 39-46  発行年： 2000年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al基板上にH₂/CH<sub>4<...

シソーラス用語： *プラズマ重合 ,...
準シソーラス用語： バリア

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分類 (3件)： 放射線重合  (CG04060K) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (5件)：

• 1). A. Lopetz, Jr. and P. C. Richardson, IEEE Trans.,BME-16 (1), 99 (1969).
• 2). Y. Iriyama, K. Nagase, Y. Hasegawa, and T.Ihara, J. Photopolym. Sci. Technol., 12, 39 (1999).
• 3). M. Yoshikawa and N. Ohtake, Zukai KisouGosei Daiyamondo, Ohmusha (1995). (Japanese)
• 4). Y. Osada, Teion Purazuma Zairyo Kagaku,Sangyo Tosho (1994). (Japanese)
• 5). B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl, Solid StateCommun., 48, 105 (1983).

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ重合 ,  DLC薄膜 ,  調製 ,  誘電特性