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J-GLOBAL ID：200902164427834748   整理番号：02A0173374

投影イメージング電子顕微鏡に基づく電子ビーム検査システム

Electron beam inspection system based on the projection imaging electron microscope.

著者 (5件)： MIYOSHI M (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  YAMAZAKI Y (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  NAGAHAMA I (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  ONISHI A (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  OKUMURA K (Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 19  号： 6  ページ： 2852-2855  発行年： 2001年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記顕微鏡を用いた電子ビーム検査システムを開発し,性能を評価...

シソーラス用語： 電子顕微鏡 ,...

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分類 (2件)： 粒子光学一般  (BD02010J) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 投影 ,  イメージング ,  電子顕微鏡 ,  電子ビーム ,  検査システム