Ar/ハロゲン混合ガスのプラズマを用いた白金エッチングにおける側壁堆積膜

SHIBANO T; OOMORI T

文献

J-GLOBAL ID：200902164514651242 整理番号：97A1011412

Ar/ハロゲン混合ガスのプラズマを用いた白金エッチングにおける側壁堆積膜

Sidewall deposition film in platinum etching with Ar/halogen mixed gas plasmas.

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巻： 15 号： 5 ページ： 1747-1751 発行年： 1997年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記エッチングにおけるフォトレジストパターンの側壁への膜堆積...

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固体デバイス製造技術一般

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