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J-GLOBAL ID：200902165433048734   整理番号：02A0795013

SMA薄膜利用マイクロブレーカの作製プロセス

Fabrication Process of SMA Thin Film Based Micro Breaker.
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著者 (4件)：
IKEDA T

IKEDA T について

(Oita Industrial Res. Inst., Oita, JPN)

Oita Industrial Res. Inst., Oita, JPN について

, 
SUGIYAMA Y

SUGIYAMA Y について

(Oita Industrial Res. Inst., Oita, JPN)

Oita Industrial Res. Inst., Oita, JPN について

, 
OKADA M

OKADA M について

(Shimada Electron Manufacturing Corp., Oita, JPN)

Shimada Electron Manufacturing Corp., Oita, JPN について

, 
FUJIMOTO K

FUJIMOTO K について

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

Osaka Univ., Osaka, JPN について


資料名：
Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)

Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems について


巻： 19th  ページ： 267-270  発行年： 2002年05月30日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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SMA(形状記憶合金)薄膜を使用して,マイクロブレーカを設計...
シソーラス用語：
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形状記憶効果

形状記憶効果 について

,...
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分類 (1件)：
分類
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継電器・スイッチ 
(NA05060K)

継電器・スイッチ について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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SMA

SMA について

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薄膜

薄膜 について

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マイクロ

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ブレーカ

ブレーカ について

, 
作製

作製 について

, 
プロセス

プロセス について


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