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J-GLOBAL ID：200902166666040560   整理番号：99A0419572

マイクロ構造デバイスの現状 メンテナンス用マイクロマシン

Micromechanical Devices. Maintenance Micromachine.

著者 (2件)： 鶴田和弘 (マイクロマシンセ) ,  石川雄一 (マイクロマシンセ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65  号： 5  ページ： 659-664  発行年： 1999年05月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1991年からの10年計画で工業技術院が主導している「マイク...

シソーラス用語： *火力発電 ,...
準シソーラス用語： マイクロファクトリー

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分類 (2件)： ボイラ  (PB01020V) ,  火力発電  (NB03040D)

引用文献 (9件)：

• 沼澤稔之. SRリソグラフィによる微細複合圧電振動子の実現. 日本機械学会第75期通常総会講演会講演論文集. 1998, I, 59
• NAKAMURA, K. An Electrostatic Micro Wobble Motor for Nondestructive Testing. Proc. The First Int. Micromachine Symp., Tokyo. 1995, 147
• IKEDA, M. Two-dimensional Miniature Optical-scanning Sensor with Silicon Micromachined Scanning Mirror. Proc. SPIE Photonic West '97, San Jose. 1997
• MAEDA, S. Active Endoscope with SMA(Shape Memory Alloy)Coil Springs. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, San Diego, California. 1996, 290
• TANAKA, K. A Micromachined Vibrating Gyroscope. Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Amsterdam. 1995, 278

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ構造 ,  現状 ,  メンテナンス ,  マイクロマシン