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J-GLOBAL ID：200902167205412542   整理番号：98A0695620

CVDプラズマの中に形成されたナノ粒子検出のための光子計数法の開発

Development of Photon-Counting Laser-Light-Scattering Method for Detection of Nano-Particles Formed in CVD Plasmas.

著者 (2件)： SHIRATANI M (Kyushu Univ., Fukuoka) ,  WATANABE Y (Kyushu Univ., Fukuoka)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 26  号： 6  ページ： 449-452  発行年： 1998年06月 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 粒子の核形成とその後の初期成長過程の情報を得るためにCVDプ...

シソーラス用語： プラズマ ,...
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】

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分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (23件)：

• HERSHKOWITZ, N. Special Issue on "Formation, Transport and Consequences of Particles in Plasmas. Plasma Sources Sci. & Technol. 1994, 3, 239
• CARLILE, R. N. Papers from "The Dusty Plasmas-'95 Workshop on Generation, Transports, and Removal of Particles in Plasmas. J. Vac. Sci. & Technol. 1996, A14, 487
• KREIBIG, U. Optical Properties of Metal Clusters. 1995
• SPEARS, K. G. IEEE Trans. Plasma Sci. 1986, PS14, 179
• WATANABE, Y. Appl. Phys. Lett. 1988, 53, 1263

タイトルに関連する用語 (4件)： CVD ,  プラズマ ,  粒子検出 ,  開発