Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>合金層の固相結晶化

YAMAGUCHI S; SUGII N; PARK S K; NAKAGAWA K; MIYAO M

文献

J-GLOBAL ID：200902167735297000 整理番号：01A0398870

Si_1-xGe_x合金層の固相結晶化

Solid-phase crystallization of Si_1-xGe_x alloy layers.

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巻： 89 号： 4 ページ： 2091-2095 発行年： 2001年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標題の結晶化を偏光解析分光法によって調べた。誘電スペクトルの...

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固相転移

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Si1-xGex合金層の固相結晶化

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