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J-GLOBAL ID：200902169936207720   整理番号：99A0795809

側鎖にケタール基を含有するアクリルポリマーに基づく化学増幅型レジスト

Chemically amplified resists based on acrylate polymers containing ketal groups in the side chains.

著者 (4件)： KIM J-B (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR) ,  PARK J-J (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  JANG J-H (Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR) ,  KIM J-Y (Korea Kumho Petrochemical Co., Ltd., Taejon, KOR)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3678  号： Pt.1  ページ： 625-632  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 側鎖 ,  ケタール ,  アクリルポリマー ,  化学増幅型レジスト