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J-GLOBAL ID：200902170671362106   整理番号：01A0552178

rfプラズマCVDで作製した窒素ドープ非晶質炭素膜の光学特性と構造特性

Optical and structural properties of nitrogen doped amorphous carbon films grown by rf plasma-enhanced CVD.

著者 (6件)： HAYASHI Y (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  KRISHNA K M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  EBISU H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  SOGA T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  UMENO M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  JIMBO T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 10  号： 3/7  ページ： 1002-1006  発行年： 2001年03月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： N₂/CH₄ガス...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (8件)： RFプラズマ ,  CVD ,  作製 ,  窒素ドープ ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  光学特性 ,  構造特性