水素雰囲気中で焼鈍後の「結晶由来粒子」の形状の変化とそれに続く消滅の原子間力顕微鏡による観察

YANASE Y; NISHIHATA H; OCHIAI T; TSUYA H

文献

J-GLOBAL ID：200902173873230766 整理番号：98A0293206

水素雰囲気中で焼鈍後の「結晶由来粒子」の形状の変化とそれに続く消滅の原子間力顕微鏡による観察

Atomic Force Microscope Observation of the Change in Shape and Subsequent Disappearance of “Crystal-Originated Particles” after Hydrogen-Atmosphere Thermal Annealing.

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資料名：
巻： 37 号： 1 ページ： 1-4 発行年： 1998年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

Si〔111〕面および(001)面を高温の水素H<sub>2...

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半導体の表面構造

引用文献 (17件)：

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