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J-GLOBAL ID：200902173999493568   整理番号：00A0738708

DRIEにより作成した双方向バルブレスマイクロポンプ

Bi-directional valve-less micropump fabricated using Deep Reactive Ion Etching.

著者 (2件)： 松本壮平 (機械技研) ,  前田龍太郎 (機械技研)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集
巻： 37th  号： Vol.1  ページ： 217-218  発行年： 2000年 
JST資料番号： F0872C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液体活性の温度依存性を利用する双方向バルブレスマイクロポンプ...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： 弁機構

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分類 (2件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： DRIE ,  双方向