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J-GLOBAL ID：200902174115022083   整理番号：95A0933704

Straightness measurement using laser beam straight datum.

著者 (4件)： UCHIKOSHI J (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SHIMADA S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  IKAWA N (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KOMURA A (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2576  ページ： 315-322  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： LASER