金属管の内面被覆のための移動型同軸ECRプラズマ源の開発

文献

J-GLOBAL ID：200902174765631831 整理番号：98A0385058

Development of a transported coaxial ECR plasma source for inner coating of metallic tubes.

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資料名：
巻： 98 号： 1/3 ページ： 834-838 発行年： 1998年01月
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

移動磁界型同軸ECRプラズマを使った管内面被覆装置を開発した...

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薄膜成長技術・装置 , プラズマ装置

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