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J-GLOBAL ID:200902174823884710   整理番号:95A1009214

分子軌道法によるSiO2膜中酸素欠乏性欠陥構造の検討

Investigation of Oxygen-Vacancy in SiO2 Film by using Molecular Orbital Calculation.
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資料名:
巻: 56th  号:ページ: 706  発行年: 1995年08月 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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