TAKEUCHI Y について
Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN について
MASHIMA H について
Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN について
MURATA M について
Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN について
UCHINO S について
Kyushu Univ., Fukuoka, JPN について
Kyushu Univ., Fukuoka, JPN について
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers について
プラズマ生成 について
圧力依存性 について
プラズマ生成・加熱 について
はしご について
高周波 について
励起 について
SiH4 について
プラズマ について
特性化 について