研究者
J-GLOBAL ID:200901004391017976
更新日: 2022年07月05日
河合 良信
カワイ ヨシノブ | Kawai Yoshinobu
所属機関・部署:
九州大学 大学院総合理工学研究院 エネルギー理工学部門 大学院総合理工学研究院
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職名:
特任教授
研究分野 (3件):
応用物理一般
, プラズマ科学
, プラズマ応用科学
研究キーワード (2件):
ECR plasma
, プラズマ波動
競争的資金等の研究課題 (8件):
非線形プラズマ波動現象
ECRプラズマの大口径化
大口径プラズマによるプラズマCVD
大口径プラズマ源の開発
Nonlinear plasma wave phenomena
Development of ECR plasma source
Development of plasma CVD
Production of large diameter plasma
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MISC (63件):
Yasuhiro Yamauchi, Yoshiaki Takeuchi, Hiromu Takatsuka, Yuichi Kai, Hiroshi Muta, Yoshinobu Kawai. Large area SiH4/H-2 VHF plasma produced at high pressure using multi-rod electrode. SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY. 2008. 202. 22-23. 5668-5671
T. Nishimiya, Y. Takeuchi, Y. Yamauchi, H. Takatsuka, T. Shioya, H. Muta, Y. Kawai. Large area VHF plasma production by a balanced power feeding method. THIN SOLID FILMS. 2008. 516. 13. 4430-4434
Y. Yamauchi, Y. Takeuchi, H. Takatsuka, H. Yamashita, H. Muta, Y. Kawai. Characteristics of VHFH2 plasma produced at high pressure. CONTRIBUTIONS TO PLASMA PHYSICS. 2008. 48. 4. 326-330
Tatsuyuki Nishimiya, Yoshiaki Takeuchi, Yasuhiro Yamauchi, Hiromu Takatsuka, Yuichi Kai, Hiroshi Muta, Yoshinobu Kawai. Large Area SiH(4)/H(2) VHF Plasma Produced with Multi-Rod Electrode. PLASMA PROCESSES AND POLYMERS. 2007. 4. S991-S994
Y Kawai, T Takeuchi, H Mashima, Y Yamauchi, H Takatsuka. Production of VHF plasma with large area using a ladder shaped electrode - VHF plasma production with narrow gap for solar cells. PLASMA PROCESSES AND POLYMERS. 2005. 2. 9. 695-701
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書籍 (1件):
Advanced Plasma Technology
Wiley-VCH 2008 ISBN:9783527405916
学歴 (4件):
- 1970 名古屋大学 理学研究科 物理学
- 1970 名古屋大学
- 1965 同志社大学 工学部 電気工
- 1965 同志社大学
学位 (2件):
理学博士 (名古屋大学)
工学修士 (同志社大学)
委員歴 (1件):
1999 - 2003 プラズマ・核融合学会 理事
所属学会 (4件):
米国物理学会
, 応用物理学会
, プラズマ・核融合学会
, 日本物理学会
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