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J-GLOBAL ID：200902176834471054   整理番号：00A0932984

PtをコートしたSi上に堆積したチタン酸鉛薄膜における応力の厚み依存性

Thickness dependence of stress in lead titanate thin films deposited on Pt-coated Si.

著者 (4件)： FU D (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OGAWA T (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SUZUKI H (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  ISHIKAWA K (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 77  号： 10  ページ： 1532-1534  発行年： 2000年09月04日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶液堆積法により成膜した標記の薄膜について,厚みを変えてRa...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： LST関係 ,...

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： Pt ,  コート ,  Si ,  堆積 ,  チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  応力 ,  厚み依存性