ジボラン化学蒸着の主要前駆体及び初期分解生成物の構造  実験及びab initio分子軌道研究

SATO K; KANDA N; OGATA T; KUMASHIRO Y

文献

J-GLOBAL ID：200902177005874270 整理番号：00A0974073

ジボラン化学蒸着の主要前駆体及び初期分解生成物の構造実験及びab initio分子軌道研究

Structures of the main precursors and initial decomposition products of diborane chemical vapor deposition: an experimental and ab initio molecular orbital study.

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資料名：
巻： 325 号： 4 ページ： 453-456 発行年： 2000年07月28日
JST資料番号： B0824A ISSN： 0009-2614 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ジボラン化学蒸着の気相化学種をその場質量分析及びab ini...

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半導体薄膜

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ジボラン化学蒸着の主要前駆体及び初期分解生成物の構造 実験及びab initio分子軌道研究

ジボラン化学蒸着の主要前駆体及び初期分解生成物の構造実験及びab initio分子軌道研究