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J-GLOBAL ID：200902177295526954   整理番号：94A0179583

RFプラズマスパッタ型負重イオン源のボロン負イオンビーム引き出し特性

Boron Negative Ion Beam Extraction Properies of the Plasma Sputter Type Heavy Negative Ion Source.

著者 (5件)： 辻博司 (京大 工) ,  岡山芳央 (京大 工) ,  岡田幸夫 (京大 工) ,  後藤康仁 (京大 工) ,  石川順三 (京大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 599  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFプラズマ ,  スパッタ ,  重イオン ,  ボロン ,  負イオンビーム ,  引き出し