局所電解エッチングに基づくナノ片持梁の新しい作製法  走査型力顕微鏡への適用

HOUMMADY M; FARNAULT E; FUJITA H; KAWAKATSU H; MASUZAWA T

文献

J-GLOBAL ID：200902177524812141 整理番号：97A0872546

局所電解エッチングに基づくナノ片持梁の新しい作製法走査型力顕微鏡への適用

New technique for nanocantilever fabrication based on local electrochemical etching: Applications to scanning force microscopy.

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資料名：
巻： 15 号： 4 ページ： 1556-1558 発行年： 1997年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

機械的に振動するボールを末端にもつナノ片持梁の新しい作製法を...

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顕微鏡法

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局所電解エッチングに基づくナノ片持梁の新しい作製法 走査型力顕微鏡への適用

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