走査型プローブ顕微鏡のカーボンナノチューブプローブを作製するためのマイクロプロセス

NAKAYAMA Y; NISHIJIMA H; AKITA S; HOHMURA K I; YOSHIMURA S H; TAKEYASU K

文献

J-GLOBAL ID：200902181892627890 整理番号：00A0452819

走査型プローブ顕微鏡のカーボンナノチューブプローブを作製するためのマイクロプロセス

Microprocess for fabricating carbon-nanotube probes of a scanning probe microscope.

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著者 (6件)：

NAKAYAMA Y

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資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

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巻： 18 号： 2 ページ： 661-664 発行年： 2000年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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標記マイクロプローブを作製する方法を開発した。このプロセスは...

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