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J-GLOBAL ID：200902182490985657   整理番号：96A0947825

電子ビーム位置制御によるCaF₂上2次元Gaドロップレットアレイの高密度化の検討

High density formation of two-dimensional Ga droplets array on CaF2 using the electron beam site control.

著者 (4件)： 上嶋和也 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  竹下順 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  川崎宏治 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  筒井一生 (東京工大 大学院 総合理工学研究科)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 57th  号： 0  ページ： 1174  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： 電子ビーム ,  位置制御 ,  CaF2 ,  2次元 ,  Ga ,  ドロップレット ,  アレイ ,  高密度化