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J-GLOBAL ID：200902182594625741   整理番号：00A0151785

格子パターン投影法を用いた位相およびコントラスト検出による表面形状計測

Surface Profile Measurement by Phase and Contrast Detection using Grating Projection Method.

著者 (7件)： 殿岡雅仁 (東京農工大 大学院) ,  山本将之 (東京農工大 大学院) ,  大谷幸利 (東京農工大 工) ,  吉沢徹 (東京農工大 工) ,  石原満宏 (高岳製作所) ,  中里康生 (高岳製作所) ,  佐々木博美 (高岳製作所)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 1  ページ： 132-136  発行年： 2000年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 格子パターン投影法による測定での急峻な高さ変化によるしま次数...

シソーラス用語： *表面性状 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (7件)：

• 吉澤徹. 光三次元計測. 1993, 77-92
• WINDECKER, R. Three-dimensional Topometry with Stereo Microscopes. Opt. Eng. 1997, 36, 12, 3372
• CHENG, Y. Y. Two Wavelength Phase Shifting Interferometry. Appl. Opt. 1984, 23, 24, 4539
• NEIL, M. A. A. Method of Obtaining Optical Sectioning by Using Structured Light in a Conventional Microscope. Opt. Lett. 1997, 22, 24, 1905
• 石原満宏. 合焦法による高速三次元計測. 精密工学会誌. 1997, 63, 1, 124

タイトルに関連する用語 (6件)： 格子 ,  投影法 ,  位相 ,  コントラスト ,  表面形状 ,  計測