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J-GLOBAL ID：200902183291403629   整理番号：93A0403453

マイクロ波プラズマ流動層CVD反応器内での反応特性

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著者 (4件)：
鈴木功一

鈴木功一 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について

, 
松方正彦

松方正彦 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について

, 
上山惟一

上山惟一 について

(大阪大 基礎工)

大阪大 基礎工 について

, 
小島紀徳

小島紀徳 について

(成けい大 工)

成けい大 工 について


資料名：
化学工学会年会研究発表講演要旨集

化学工学会年会研究発表講演要旨集 について


巻： 58th  号： Pt 3  ページ： 106  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： X0547A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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マイクロ波プラズマ

マイクロ波プラズマ について

, 
流動層

流動層 について

, 
CVD

CVD について

, 
反応器

反応器 について

, 
反応特性

反応特性 について


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