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J-GLOBAL ID：200902184197458769   整理番号：95A1045366

RFプラズマスパッタ型負重イオン源からの酸素及びフッ素負イオン引き出し特性

Extraction Properties of Oxygen and Fluorine Negative Ions from RF Plasma-Sputter-Type Heavy Negative-Ion Source.

著者 (5件)： 富田哲生 (京大 大学院) ,  辻博司 (京大 大学院) ,  豊田啓孝 (京大 大学院) ,  後藤康仁 (京大 大学院) ,  石川順三 (京大 大学院)
資料名： 粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム  (Proceedings of the Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses)
巻： 6th  ページ： 191-194  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： L2435A  ISSN： 0919-3308  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 負イオン化気体材料を供給することにより,化学的に活性な酸素と...

シソーラス用語： 負イオン源 ,...

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分類 (1件)： 電子源,イオン源  (BD02020U)

タイトルに関連する用語 (7件)： RFプラズマ ,  スパッタ ,  重イオン ,  酸素 ,  フッ素 ,  負イオン ,  引き出し