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J-GLOBAL ID：200902184478323676   整理番号：99A0497426

真空マイクロエレクトロニクスの展望

Recent Progress and Future Prospect of Vacuum Microelectronics.

著者 (3件)： 伊藤順司 (電総研) ,  金丸正剛 (電総研) ,  松川貴 (電総研)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C-1  (Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： J82-C-1  号： 5  ページ： 249-259  発行年： 1999年05月25日 
JST資料番号： S0623B  ISSN： 0915-1893  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空マイクロエレクトロニクス研究の現状と展望を,シリコンエミ...

シソーラス用語： マイクロエレクトロニクス ,...
準シソーラス用語： 平板ディスプレイ

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分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 真空マイクロエレクトロニクス ,  展望