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J-GLOBAL ID：200902184858643312   整理番号：95A0125318

磁気プラズマ動的アークジェットを用いたsp2およびsp3結合から成る非晶質炭素膜の特性評価と修正

Characterization and Modification of Amorphous Carbon Films Consisting of sp2 and sp3 Bonds Using Magneto-Plasma Dynamic Arc-Jet.
著者 (9件)：
TANABE Y

TANABE Y について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
BURKHARD G

BURKHARD G について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
ISHIKURA T

ISHIKURA T について

(Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Yokohama)

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, 
TSUNODA K

TSUNODA K について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
HASUO H

HASUO H について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
TAMARU M

TAMARU M について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
TAMURA H

TAMURA H について

(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
SAWAOKA A

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(Tokyo Inst. Technology, Yokohama)

Tokyo Inst. Technology, Yokohama について

, 
UEMATSU K

UEMATSU K について

(Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Yokohama)

Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Yokohama について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers について


巻： 33  号： 12A  ページ： 6684-6690  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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磁気プラズマ動的アークジェット(MPDAJ)は原料ガスに大き...
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非晶質半導体

非晶質半導体 について

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半導体薄膜 
(BK14040E)

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炭素膜

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