VENDER D について
IBM Research Division, New York について
OEHRLEIN G S について
IBM Research Division, New York について
SCHWARTZ G C について
IBM Technology Products Division, New York について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
プラズマCVD について
PSG【ガラス】 について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
ドープ について
SiO2 について
りん について
酸化物 について
反応性イオンエッチング について