大面積で均一の塵あいフリープラズマCVD

文献

J-GLOBAL ID：200902186060518163 整理番号：01A0667819

Large-area uniform dust-free plasma CVD.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=01A0667819&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0667819&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 390 号： 1/2 ページ： 76-82 発行年： 2001年06月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

塵あいを含む磁化プラズマの輸送機構を調べ,塵あい粒子なし条件...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0667819&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

半導体薄膜

, ,

前のページに戻る