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J-GLOBAL ID：200902186189191551   整理番号：93A0819412

Spatial and angular nonuniformities from collimated sputtering.

著者 (4件)：
DEW S K

DEW S K について

(Univ. Alberta, Alberta, CAN)

Univ. Alberta, Alberta, CAN について

, 
LIU D

LIU D について

(Univ. Alberta, Alberta, CAN)

Univ. Alberta, Alberta, CAN について

, 
BRETT M J

BRETT M J について

(Univ. Alberta, Alberta, CAN)

Univ. Alberta, Alberta, CAN について

, 
SMY T

SMY T について

(Carleton Univ., Ontario, CAN)

Carleton Univ., Ontario, CAN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 11  号： 4  ページ： 1281-1286  発行年： 1993年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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