有機金属化学気相蒸着によるPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>薄膜の電気特性に及ぼす原料前駆体純度の影響

FUJISAWA H; YOSHIDA M; SHIMIZU M; NIU H

文献

J-GLOBAL ID：200902186483461508 整理番号：98A0950493

有機金属化学気相蒸着によるPb(Zr,Ti)O₃薄膜の電気特性に及ぼす原料前駆体純度の影響

Influence of the Purity of Source Precursors on the Electrical Properties of Pb(Zr, Ti)O₃ Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition.

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著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 37 号： 9B ページ： 5132-5136 発行年： 1998年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

純度が異なる二種類のPb原料(テトラエチル鉛)を使用して,P...

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 酸化物薄膜

引用文献 (1件)：

SAKUMA, T. Ext. Abstr. (52nd Autumn Meet. 1991); The Japan Society of Applied Physics

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有機金属化学気相蒸着によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の電気特性に及ぼす原料前駆体純度の影響

有機金属化学気相蒸着によるPb(Zr,Ti)O₃薄膜の電気特性に及ぼす原料前駆体純度の影響