Edge location errors in Cr-less and rim-type phase-shifting lithography.

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J-GLOBAL ID：200902188822755071 整理番号：94A0139545

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巻： 11 号： 6 ページ： 2659-2664 発行年： 1993年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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