WEISS M について
Fraunhofer-Inst. Siliziumtechnologie, Berlin, DEU について
HENKE W について
Fraunhofer-Inst. Siliziumtechnologie, Berlin, DEU について
RONSE K について
IMEC v.z.w, Leuven, BEL について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について
EDGE について
Cr について
RIM について