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J-GLOBAL ID:200902191716662847   整理番号:95A0289359

ナノインデンターによる薄膜の硬度,弾性の測定法

Mechanical properties of thin films. Hardness and Elasticity Measurement of Thin Films with Nanoindenter.
著者 (1件):
資料名:
巻: 40  号:ページ: 199-204  発行年: 1995年03月 
JST資料番号: F0390A  ISSN: 0915-1168  CODEN: TORAEO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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薄膜あるいは最表面の硬度を測定できる装置の研究開発の試みとそ...
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