ナノインデンターによる薄膜の硬度,弾性の測定法

文献

J-GLOBAL ID：200902191716662847 整理番号：95A0289359

Mechanical properties of thin films. Hardness and Elasticity Measurement of Thin Films with Nanoindenter.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 40 号： 3 ページ： 199-204 発行年： 1995年03月
JST資料番号： F0390A ISSN： 0915-1168 CODEN： TORAEO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

薄膜あるいは最表面の硬度を測定できる装置の研究開発の試みとそ...

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材料試験

引用文献 (7件)：

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