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J-GLOBAL ID：200902192998434880   整理番号：96A0228148

蒸発マスクとして陽極多孔質アルミナを用いた金ナノドットアレイの作製

Fabrication of Gold Nanodot Array Using Anodic Porous Alumina as an Evaporation Mask.

著者 (2件)： MASUDA H (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN) ,  SATOH M (Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 35  号： 1B  ページ： L126-L129  発行年： 1996年01月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールのスルーホールをもつ多孔質アルミナ膜を陽極酸化に...

シソーラス用語： 多孔質体 ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (26件)：

• CRAIGHEAD, H. G. J. Appl. Phys. 1984, 55, 4430
• TEMKIN, H. Appl. Phys. Lett. 1987, 50, 413
• CRAIGHEAD, H. G. Appl. Phys. Lett. 1984, 44, 1134
• HEPEL, T. J. Electrochem. Soc. 1986, 133, 752
• SATO, T. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 159

タイトルに関連する用語 (7件)： 蒸発 ,  マスク ,  陽極 ,  多孔質アルミナ ,  金 ,  ナノドットアレイ ,  作製