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J-GLOBAL ID：200902193444100901   整理番号：00A1026461

ECFジェット冷却を用いたSMA駆動マイクロポンプ

An SMA-Driven Micropump Using ECF Jet Cooling.

著者 (6件)： 横田真一 (東京工大 精密工研) ,  吉田和弘 (東京工大 精密工研) ,  岡安毅 (東京工大 大学院) ,  川上和英 (東京工大 大学院) ,  大坪泰文 (千葉大 工) ,  枝村一弥 (新技術マネイジメント)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 66  号： 650  ページ： 3516-3522  発行年： 2000年10月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 作業をおこなう流体パワーを用いたマイクロマシンのため,ECF...

シソーラス用語： *油圧ポンプ ,...

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分類 (1件)： 油圧・空気圧機器  (QD04020X)

引用文献 (8件)：

• Proc. IEEE 10th Annual Int. Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'97). 1997
• 北原時雄. 産業科学技術研究開発制度における「マイクロマシン技術」. 機誌. 1994, 97-905, 255-258
• 吉田和弘. 流体パワーを用いたマイクロアクチュエータに関する研究(第1報, 微小化に適したアクチュエータ方式の検討と管内走行機械への応用. 油圧と空気圧. 1994, 25-2, 281-288
• 吉田和弘. 流体パワーを用いた管内走行マイクロマシン(管径に適応できるメカニズム). 機論, B. 1996, 62-601, 3341-3346
• 朴重濠. 共振駆動を用いた高パワー密度の圧電マイクロポンプ. 機論, C. 1999, 65-631, 1071-1077

タイトルに関連する用語 (4件)： ECF ,  ジェット ,  SMA ,  マイクロポンプ