イオンビーム支援蒸着によって作製した窒化炭素薄膜の機械的性質に及ぼすArイオンの効果

文献

J-GLOBAL ID：200902194673382259 整理番号：03A0076221

Ar Ion Effect on Mechanical Properties of Carbon Nitride Films Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition.

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巻： 41 号： 12 ページ： 7455-7461 発行年： 2002年12月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

窒化炭素(CN)薄膜を標記方法で作製した。炭素を電子ビーム蒸...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般 , その他の物質の放射線による構造と物性の変化

引用文献 (33件)：

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