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J-GLOBAL ID：200902197128734031   整理番号：99A1009809

ケイ素表面吸着層の電子デバイス作成への応用

著者 (6件)： 山田太郎 (早稲田大) ,  山田桂子 (早稲田大 理工) ,  丹羽大介 (早稲田大 理工) ,  細田直宏 (早稲田大 理工) ,  高野奈央 (早稲田大 理工) ,  逢坂哲弥 (早稲田大 理工)
資料名： 触媒討論会討論会A予稿集  (触媒討論会(A)講演予稿集)
巻： 84th  ページ： 128  発行年： 1999年09月06日 
JST資料番号： S0874A  ISSN： 1343-9936  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ケイ素単結晶ウエハー表面上に有機単分子層などをレジスト層とし...

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タイトルに関連する用語 (4件)： ケイ素 ,  表面吸着 ,  電子デバイス ,  応用