文献
J-GLOBAL ID:200902199647643232
整理番号:94A0129169
高分解能電子ビームレジストとしてのSiO2の特性
Characteristics of SiO2 as a High-Resolution Electron Beam Resist.
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著者 (2件):
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資料名:
巻:
32
号:
12B
ページ:
6153-6157
発行年:
1993年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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標記目的のため熱成長させたSiO
2の特...
シソーラス用語:
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般
, 電子ビーム・イオンビームの応用
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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