廣島洋

ヒロシマヒロシ | Hiroshima Hiroshi

所属機関・部署：
ホームページURL (1件)： https://unit.aist.go.jp/sfrc/

研究分野 (1件)：応用物理一般

研究キーワード (7件)：ナノインプリント , 電子ビーム描画 , 集束イオンビーム , ビーム誘起プロセス , 電子光学 , リソグラフィ , 超微細加工

競争的資金等の研究課題 (3件)：

論文 (197件)：

Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hideki Takagi, Hiroshi Hiroshima, Yoshinori Kinoshita, Katsuhiro Hayashi. Fabrication of high-aspect-ratio micropatterns in soluble block-copolymer polyimides by a UV-assisted thermal imprint process. JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2019. 33. 8. 3755-3760
Ryohei Hokari, Kazuma Kurihara, Eiji Higurashi, Hiroshi Hiroshima. Optical evaluation of nanocomposite metamaterials fabricated by nano-printing technique utilizing silver nanoink. Microelectronic Engineering. 2019. 211. 44-49
Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima. Mold design and process for application of nanoimprint lithography to interconnections. Journal of Japan Institute of Electronics Packaging. 2019. 22. 2. 158-163
Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, Hiroshi Hiroshima. Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint. JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2019. 32. 1. 123-130
Hashiguchi Kyouhei, Suzuki Kenta, Hiroshima Hiroshi, Naitoh Yasuhisa, Suga Hiroshi. Pt Nanogap Electrode Fabrication by Two-Layer Lift-Off UV-NIL and Nanowire Breakdown. IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY. 2018. 17. 6. 1094-1097

MISC (33件)：

YOUN Sung-Won, SUZUKI Kenta, HIROSHIMA Hiroshi. ウェハレベルナノインプリント技術の開発と実装技術への応用に関する研究. バイオメカニクス研究センター&エレクトロニクス実装学会九州支部合同研究会. 2019. 7th (CD-ROM)
鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2019. 33rd
鈴木聡, 鈴木聡, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. スパッタ/反応性イオンエッチングによるマイクロ流路底面へのナノ構造形成法. 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM). 2019. 25th
鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
橋口恭平, 橋口恭平, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. 寸法制御性の良いUVナノインプリント用石英モールドの加工法の検討. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd

特許 (36件)：

書籍 (5件)：

ナノインプリント技術ハンドブック
オーム社 2019 ISBN:9784274224485
ナノインプリント応用事例集 :~原理/材料/装置/モールド/離型/評価/量産動向/特許等を踏まえて~
情報機構 2007 ISBN:9784901677820
ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開: ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開 (フロンティアテクノシリ-ズ)
フロンティア出版(台東区) 2006 ISBN:4902410095
ナノインプリントのはなし
日刊工業新聞社 2005 ISBN:4526055743
ナノインプリントの開発と応用
シーエムシー出版 2005 ISBN:4882315254

講演・口頭発表等 (18件)：

Quick cavity filling in UV-Nanoimprint using pentafluoropropane
(MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
Fabrication of ultra smooth mirrors by UV-nanoimprint
(MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
Photo-nanoimprinting using SOFT (Sample on flexible thruster) atage
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005)
Fabrication of low line edge roughness mold by SOG replica method
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
Reproducibility of photo-nanoimprint
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)

所属学会 (2件)：

電気学会 , 応用物理学会

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廣島 洋