研究者
J-GLOBAL ID:200901002568470967   更新日: 2022年08月26日

廣島 洋

ヒロシマ ヒロシ | Hiroshima Hiroshi
所属機関・部署:
ホームページURL (1件): http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H00273472
研究分野 (1件): 応用物理一般
研究キーワード (6件): ビーム誘起プロセス ,  集束イオンビーム ,  リソグラフィ ,  超微細加工 ,  ナノインプリント ,  電子光学
論文 (194件):
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MISC (33件):
  • YOUN Sung-Won, SUZUKI Kenta, HIROSHIMA Hiroshi. ウェハレベルナノインプリント技術の開発と実装技術への応用に関する研究. バイオメカニクス研究センター&エレクトロニクス実装学会九州支部合同研究会. 2019. 7th (CD-ROM)
  • 鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2019. 33rd
  • 鈴木聡, 鈴木聡, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. スパッタ/反応性イオンエッチングによるマイクロ流路底面へのナノ構造形成法. 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM). 2019. 25th
  • 鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
  • 橋口恭平, 橋口恭平, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. 寸法制御性の良いUVナノインプリント用石英モールドの加工法の検討. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
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特許 (36件):
講演・口頭発表等 (18件):
  • Quick cavity filling in UV-Nanoimprint using pentafluoropropane
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Fabrication of ultra smooth mirrors by UV-nanoimprint
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Photo-nanoimprinting using SOFT (Sample on flexible thruster) atage
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005)
  • Fabrication of low line edge roughness mold by SOG replica method
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
  • Reproducibility of photo-nanoimprint
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
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所属学会 (2件):
電気学会 ,  応用物理学会
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