研究者
J-GLOBAL ID:200901002568470967   更新日: 2020年09月16日

廣島 洋

ヒロシマ ヒロシ | Hiroshima Hiroshi
所属機関・部署:
職名: 所長
ホームページURL (1件): http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H00273472
研究分野 (1件): 応用物理一般
研究キーワード (1件): ナノインプリント 超微細加工 リソグラフィ イオンビーム加工 電子光学
論文 (191件):
  • Ryohei Hokari, Kazuma Kurihara, Eiji Higurashi, Hiroshi Hiroshima. Optical evaluation of nanocomposite metamaterials fabricated by nano-printing technique utilizing silver nanoink. Microelectronic Engineering. 2019. 211. 44-49
  • Hashiguchi Kyouhei, Suzuki Kenta, Hiroshima Hiroshi, Naitoh Yasuhisa, Suga Hiroshi. Pt Nanogap Electrode Fabrication by Two-Layer Lift-Off UV-NIL and Nanowire Breakdown. IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY. 2018. 17. 6. 1094-1097
  • Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima. Chip-scale pattern modification method for equalizing residual layer thickness in nanoimprint lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2018. 57. 6
  • Kyouhei Hashiguchi, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima, Hiroshi Suga. Pt nanogap electrode fabricated by two layer lift-off UV-NIL and nanowire-breakdown process. 2017 IEEE 12th Nanotechnology Materials and Devices Conference, NMDC 2017. 2018. 2018-. 51-52
  • Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, Hiroshi Hiroshima. Filling behavior and mold release force in UV nanoimprinting using PDMS mold in different atmosphere. 2017 IEEE 12th Nanotechnology Materials and Devices Conference, NMDC 2017. 2018. 2018-. 167-168
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MISC (5件):
  • 穂苅遼平, 栗原一真, 高田尚樹, 廣島洋. 微細構造を利用したサブマイクロメートル印刷技術の開発. 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM). 2017. 23rd. ROMBUNNO.OS1302-04
  • 穂苅 遼平, 栗原 一真, 高田 尚樹, 廣島 洋. 微細溝内に形成された高アスペクト比印刷パターンの電気特性評価. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2017. 2017. 0. 837-838
  • 石井裕之, 藤野英利, 伊藤若菜, 倉島優一, 宮本岩男, 高須賀庸行, 横井秀樹, 板谷太郎, 廣島洋. 光ナノインプリントによる超平坦ミラーの作製(2). 応用物理学会学術講演会講演予稿集. 2007. 68th. 2. 743
  • 廣島洋, 倉島優一, 古室昌徳. 光ナノインプリントパターンのLER評価. シリコンテクノロジー. 2006. No.88. 11
  • 板谷太郎, 広島洋, GORWADKAR S, 大竹秀幸, 猿倉信彦, 中川格. 電子ビーム露光法により作製された光導電スイッチの放射特性. 応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1998. 45th. 3. 1071
特許 (36件):
講演・口頭発表等 (18件):
  • Quick cavity filling in UV-Nanoimprint using pentafluoropropane
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Fabrication of ultra smooth mirrors by UV-nanoimprint
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Photo-nanoimprinting using SOFT (Sample on flexible thruster) atage
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005)
  • Fabrication of low line edge roughness mold by SOG replica method
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
  • Reproducibility of photo-nanoimprint
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
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学位 (1件):
  • 博士(工学) (大阪大学)
所属学会 (2件):
電気学会 ,  応用物理学会
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