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J-GLOBAL ID：200902200255569903   整理番号：04A0343748

(001)Si上Ta膜の真空中アニール温度の上昇に伴うβ-Taからα-Taへの相変化

著者 (5件)： 見連場一寛 (北見工大) ,  新海聡子 (北見工大) ,  柳沢英人 (北見工大) ,  佐々木克孝 (北見工大) ,  阿部良夫 (北見工大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 51st  号： 2  ページ： 701  発行年： 2004年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *タンタル ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固相転移  (BL04020G)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  Ta膜 ,  アニール温度 ,  Ta ,  相変化